Projekty finansowane przez NCN
Wytwarzanie i badanie piezorezystywnych przyrządów NEMS wykonanych technologiami FIB/SEM
2016/23/N/ST7/01591
Słowa kluczowe:
FIB NEMS implantacja mokre trawienie krzemu
Deskryptory:
- ST7_2: Elektrotechnika, elektronika: półprzewodniki, elementy i układy, systemy
- ST7_5: Mikro- i nanoelektronika, optoelektronika
Panel:
ST7 - Inżynieria systemów i komunikacji: elektronika, komunikacja, optoelektronika
Konkurs: PRELUDIUM 12 - ogłoszony 2016-09-15
Przyznana kwota: 147 960 PLN
Rozpoczęcie projektu: 2017-10-09
Zakończenie projektu: 2020-10-08
Planowany czas trwania projektu: 36 miesięcy (z wniosku)
Status projektu: Projekt rozliczony
Opis Projektu
Pobierz opis projektu w formacie .pdf
Uwaga - opisy projektów zostały sporządzone przez samych autorów wniosków i w niezmienionej formie umieszczone w systemie.
Zakupiona aparatura
- Generator wysokich częstosliwości. Za kwotę 30 000 PLN
Dane z raportu końcowego/rocznego
- Publikacje w czasopismach (2)
- Sensitivity Improvement to Active Piezoresistive AFM Probes Using Focused Ion Beam ProcessingAutorzy:Piotr Kunicki, Tihomir Angelo, Tzvetan Ivanov, Teodor Gotszalk, Ivo RangelowCzasopismo:Sensors (rok: 2019, tom: 0,805555555555555, strony: 4429), Wydawca: MDPIStatus:OpublikowanaDoi:10.3390/s19204429 - link do publikacji
- Quartz tuning fork mass change sensing for FIB/SEM technologyAutorzy:Piotr Kunicki, Magdalena Moczała-Dusanowska, Grzegorz Jóźwiak, Paulina Szymanowska, Tomasz Piasecki, Teodor GotszalkCzasopismo:Micron (rok: 2020, tom: 129, strony: 102792), Wydawca: ElsevierStatus:OpublikowanaDoi:10.1016/j.micron.2019.102792 - link do publikacji