Projekty finansowane przez NCN
Nanostruktury GaN wytwarzane w procesie selektywnego trawienia ICP, których formowanie inicjowane jest obecnością nanopowłoki tytanowej
2013/11/N/ST7/02801
Słowa kluczowe:
Deskryptory:
- ST7_5: Mikro- i nanoelektronika, optoelektronika
Panel:
ST7 - Inżynieria systemów i komunikacji: elektronika, komunikacja, optoelektronika
Jednostka realizująca:
Instytut Technologii Elektronowej
woj. mazowieckie
Konkurs: PRELUDIUM 6 - ogłoszony 2013-09-16
Przyznana kwota: 149 723 PLN
Rozpoczęcie projektu: 2014-07-15
Zakończenie projektu: 2017-07-14
Planowany czas trwania projektu: 36 miesięcy (z wniosku)
Status projektu: Projekt rozliczony
Dane z raportu końcowego/rocznego
- Publikacje w czasopismach (1)
- Teksty w publikacjach pokonferencyjnych (2)
- Implementation of the inductively coupled plasma etching processes for forming gallium nitride nanorods used in ultraviolet light-emitting diode technologyAutorzy:Marek Ekielski, Marek Wzorek, Krystyna Gołaszewska, Alina Domanowska, Andrzej Taube, Mariusz SochackiCzasopismo:Journal of Vaccum Science & Technology B (rok: 2020, tom: 38, strony: ), Wydawca: AIP PublishingStatus:Przyjęta do publikacjiDoi:10.1116/6.0000133 - link do publikacji
- High aspect ratio GaN nanorods fabricated by means of UV photolithography and ICP etchingAutorzy:Marek Ekielski, Marek Wzorek, Michał A. Borysiewicz, Alina Domanowska, Tomasz Wojtowicz, Anna Piotrowska and Eliana KamińskaKonferencja:International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016) (rok: 2016, ), Wydawca: Japan Society of Application PhysicsData:konferencja 08 - 11 listopadStatus:Opublikowana
- Novel approach of top-down GaN nanorods fabricationAutorzy:Marek Ekielski, Marek Wzorek, Marcin Juchniewicz, Eliana Kamińska, Anna PiotrowskaKonferencja:15th INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (rok: 2015, ), Wydawca: IEEEData:konferencja 27-30 LipiecStatus:Opublikowana