2012/06/A/ST7/00398
Słowa kluczowe:
tlenki o wysokiej stałej dielektrycznej tlenki wysokoprzewodzące metoda osadzania warstw atomowych ALD
Deskryptory:
Panel:
ST7 - Inżynieria systemów i komunikacji: elektronika, komunikacja, optoelektronika
Konkurs: MAESTRO 3 - ogłoszony 2012-06-15
Przyznana kwota: 2 808 300 PLN
Rozpoczęcie projektu: 2013-06-03
Zakończenie projektu: 2018-08-02
Planowany czas trwania projektu: 62 miesięcy (z wniosku)
Status projektu: Projekt rozliczony