Projekty finansowane przez NCN
Technologia i charakteryzacja ultracienkich warstw krzemu wytwarzanych metodą PECVD na potrzeby struktur nanoelektronicznych
2011/03/B/ST7/02595
Słowa kluczowe:
nanoelektronika krzemowa technologia krzemowa PECVD przyrządy kwantowe
Deskryptory:
- ST7_5: Mikro- i nanoelektronika, optoelektronika
Panel:
ST7 - Inżynieria systemów i komunikacji: elektronika, komunikacja, optoelektronika
Jednostka realizująca:
Politechnika Warszawska, Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych
woj. mazowieckie
Konkurs: OPUS 2 - ogłoszony 2011-09-15
Przyznana kwota: 598 720 PLN
Rozpoczęcie projektu: 2012-08-01
Zakończenie projektu: 2016-02-29
Planowany czas trwania projektu: 42 miesięcy (z wniosku)
Status projektu: Projekt rozliczony