Projekty finansowane przez NCN


Dane kierownika projektu i jednostki realizującej

Szczegółowe informacje o projekcie i konkursie

Słowa kluczowe

Aparatura

Wyczyść formularz

Miniaturowy transmisyjny mikroskop elektronowy typu MEMS

2016/21/B/ST7/02216

Słowa kluczowe:

mikroskopia polowe źródło elektronów mikropompa próżniowa MEMS

Deskryptory:

  • ST7_5: Mikro- i nanoelektronika, optoelektronika

Panel:

ST7 - Inżynieria systemów i komunikacji: elektronika, komunikacja, optoelektronika

Jednostka realizująca:

Politechnika Wrocławska

woj. dolnośląskie

Inne projekty tej jednostki 

Kierownik projektu (z jednostki realizującej):

prof. Anna Górecka-Drzazga 

Liczba wykonawców projektu: 4

Konkurs: OPUS 11 - ogłoszony 2016-03-15

Przyznana kwota: 1 055 950 PLN

Rozpoczęcie projektu: 2017-02-01

Zakończenie projektu: 2020-02-22

Planowany czas trwania projektu: 36 miesięcy (z wniosku)

Status projektu: Projekt rozliczony

Opis Projektu

Pobierz opis projektu w formacie .pdf

Uwaga - opisy projektów zostały sporządzone przez samych autorów wniosków i w niezmienionej formie umieszczone w systemie.

Zakupiona aparatura

  1. Kompaktowy mikroskop elektronowy skaningowy JEOL JSM-IT100 lub podobnej klasy; szt. 1, koszt 300000 zł.
  2. System elektrycznych i przepływowych przepustów do mikroskopu. Za kwotę 20 000 PLN
  3. Mikroskop kompaktowy HITACHI TM-3030 PLUS lub podobnej klasy. Za kwotę 280 000 PLN

Dane z raportu końcowego/rocznego

  • Publikacje w czasopismach (11)
  • Teksty w publikacjach pokonferencyjnych (14)
  • Publikacje książkowe (1)
  1. Preliminary research on imaging in MEMS electron microscope
    Autorzy:
    M. Krysztof, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga
    Czasopismo:
    Measurement Science and Technology (rok: 2020, tom: 31, strony: 035401 1-7), Wydawca: IOP Publishing
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1088/1361-6501/ab572a - link do publikacji
  2. MEMS ion source for ion mobility spectrometry
    Autorzy:
    T. Grzebyk, P. Szyszka, M. Krysztof, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban
    Czasopismo:
    Journal of Vacuum Science Technology (rok: 2019, tom: 37, strony: 022201 1-6), Wydawca: American Vacuum Society
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1116/1.5068750 - link do publikacji
  3. Fabrication and characterization of a miniaturezed octupole deflection system for MEMS electrone microscope
    Autorzy:
    M. Krysztof, M. Białas, P. szyszka, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga
    Czasopismo:
    Ultramicroscopy (rok: 2021, tom: 225, strony: 113288), Wydawca: Elsevier
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1016/j.ultramic.2021.113288 - link do publikacji
  4. Characterization of the ionization process inside a miniature glow-discharge micropump
    Autorzy:
    T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga
    Czasopismo:
    Bulletin of The Polish Academy of Sciences Technical Sciences (rok: 2018, tom: 66, strony: 173-178), Wydawca: Polish Academy of Sciences
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.24425/122097 - link do publikacji
  5. Electron beam source for the miniaturized electron microscope on-chip
    Autorzy:
    K.Laszczyk, M. Krysztof
    Czasopismo:
    Vacuum (rok: 2021, tom: 189, strony: 110236), Wydawca: Elsevier
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1016/j.vacuum.2021.110236 - link do publikacji
  6. Electron optics column for a new MEMS-type transmission electron microscope
    Autorzy:
    M. Krysztof, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, K. Adamski, J. Dziuban
    Czasopismo:
    Bulletin of the Polish Academy of Sciences Technical Sciences (rok: 2018, tom: 66, strony: 133-137), Wydawca: Polish Academy of Sciences
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.24425/119067 - link do publikacji
  7. Field emission cathodes to form an electron beam prepared from carbon nanotube suspensions
    Autorzy:
    Karolina U. Laszczyk
    Czasopismo:
    Micromachines (rok: 2020, tom: 11, strony: 260, 1-31), Wydawca: MDPI- Publisher of Open Access Journals
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.3390/mi11030260 - link do publikacji
  8. Improved properties of the MEMS-type ion-sorption micropump
    Autorzy:
    T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban
    Czasopismo:
    Journal of Vacuum Science and Technology B (rok: 2017, tom: 35, strony: 0620011-6), Wydawca: American Vacuum Society
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1116/1.4994782 - link do publikacji
  9. MEMS tandem ion-sorption micropump
    Autorzy:
    T. Grzebyk
    Czasopismo:
    Journal of Micromechanics and Microengineering (rok: 2017, tom: 27, strony: 125019 (6 pp)), Wydawca: IOP Publishing
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1088/1361-6439/aa9555 - link do publikacji
  10. Technology and parameters of thin membrane-anode for MEMS transmission electron microscope
    Autorzy:
    M. Krysztof, T. Grzebyk, P. Szyszka, K. Laszczyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban
    Czasopismo:
    Journal of Vacuum Science and Technology B (rok: 2018, tom: 36, strony: 02C107-1-6), Wydawca: American Vacuum Society
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1116/1.5006151 - link do publikacji
  11. Magnetron-like miniature ion source
    Autorzy:
    T. Grzebyk, P. Szyszka, A. Górecka-Drzazga
    Czasopismo:
    Vacuum (rok: 2018, tom: 151, strony: 167-174), Wydawca: Elsevier Ltd.
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1016/j.vacuum.2018.01.048 - link do publikacji
  1. Electrical properties of carbon-black, graphite- and graphene-glass composites
    Autorzy:
    T. Matusiak, A. Dąbrowski, K. Laszczyk, L. Golonka
    Konferencja:
    13th Conference "Electron Technology" ELTE and 43rd International Microelectronics and Packaging IMAPS Poland Conference (rok: 2019, ), Wydawca: International Microelectronics and Packaging Society Poland Chapter
    Data:
    konferencja 4-6 September 2019
    Status:
    Opublikowana
  2. Electron transparent anode for MEMS transmission electron microscope
    Autorzy:
    M. Krysztof, T. Grzebyk, P. Szyszka, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban
    Konferencja:
    2018 XV International Scientific Conference on Optoelectronic and Electronic Sensors (COE2018) (rok: 2018, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 18-20 June 2018 Warszawa
    Status:
    Opublikowana
  3. Field emission CNT electron source in a triode configuration for the purpose of the MEMS Transmission Electron Microscope
    Autorzy:
    K. Laszczyk, M. Krysztof, A. Herman, A. Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    13th Conference "Electron Technology" ELTE and 43rd International Microelectronics and Packaging IMAPS Poland Conference (rok: 2019, ), Wydawca: International Microelectronics and Packaging Society Poland Chapter
    Data:
    konferencja 4-6 September 2019
    Status:
    Opublikowana
  4. Microfluidic device for biological samples imaging with use of a miniature MEMS transmission electron microscope
    Autorzy:
    M. Krysztof, M. Białas, A. Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    23rd International Conference on Miniaturized Systems for chemistry and Life Sciences (microTAS 2019) (rok: 2019, ), Wydawca: The Chemical and Biological Microsystems Society
    Data:
    konferencja 27-31 October 2019
    Status:
    Opublikowana
  5. Transmission electron microscope on-the-chip - a reality or mystification?
    Autorzy:
    M. Krysztof, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban
    Konferencja:
    2018 Baltic URSI Symposium (rok: 2018, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 15-17 May 2018
    Status:
    Opublikowana
  6. MEMS ion source for ion mobility spectrometry
    Autorzy:
    T. Grzebyk, P. Szyszka, M. Krysztof, A. Górecka-Drzazga, J.A. Dziuban
    Konferencja:
    31st International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2018 (rok: 2018, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 9-13 July 2018 Kyoto
    Status:
    Opublikowana
  7. Mikrosystemy wysokopróżniowe
    Autorzy:
    T. Grzebyk
    Konferencja:
    13th conference Electron Technology ELTE and 43rd International Microelectronics and Packaging IMAPS Poland Conference (rok: 2019, ), Wydawca: International Microelectronics and Packaging Society Poland Chapter
    Data:
    konferencja 4-6 September 2019
    Status:
    Opublikowana
  8. Design and testing of an Einzel lens for MEMS transmission electron microscope
    Autorzy:
    M. Krysztof, M. Białas, A. Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    13th Conference "Electron Technology" ELTE and 43rd International Microelectronics and Packaging IMAPS Poland Conference (rok: 2019, ), Wydawca: International Microelectronics and Packaging Society Poland Chapter
    Data:
    konferencja 4-6 September 2019
    Status:
    Opublikowana
  9. From a microtip to a planar cathode - an electron source with a simplified technology
    Autorzy:
    K. Laszczyk, M. Krysztof, T. Grzebyk, P. Szyszka, J. Dziuban, A. Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    2018 XV International Scientific Conference on Optoelectronic and Electronic Sensors (COE2018) (rok: 2018, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 18-20 June 2018 Warszawa
    Status:
    Opublikowana
  10. High vacuum in MEMS
    Autorzy:
    T. Grzebyk, A. Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    2018 Baltic URSI Symposium (rok: 2018, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 15-17 May 2018
    Status:
    Opublikowana
  11. Influence of a magnetic field on trajectories of electrons in MEMS transmission electron microscope
    Autorzy:
    T. Grzebyk, P. Szyszka, M. Krysztof, A. Górecka-Drzazga, J. A. Dziuban
    Konferencja:
    30th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2017 (rok: 2017, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 10 - 14 July 2017
    Status:
    Opublikowana
  12. Preliminary imaging in miniature MEMS electron microscope
    Autorzy:
    M. Krysztof, T. Grzebyk, A. Górecka-Drzzazga, J. Dziuban
    Konferencja:
    31st International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2018 (rok: 2018, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 9-13 July 2018 Kyoto
    Status:
    Opublikowana
  13. Technology and properties of thin membrane-anode for MEMS transmission electron microscope
    Autorzy:
    M. Krysztof, T. Grzebyk, K. Laszczyk, A. Górecka-Drzazga, J. Dziuban
    Konferencja:
    30th Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2017 (rok: 2017, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 10 -14 July 2017
    Status:
    Opublikowana
  14. The stable and long lifetime planar field emission cathode made of a CNT ink
    Autorzy:
    K. Laszczyk, M. Krysztof, J.A. Dziuban, A. Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    31st International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2018 (rok: 2018, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 9-13 July 2018 Kyoto
    Status:
    Opublikowana
  1. Measurements of vacuum in microsystems
    Autorzy:
    A. Górecka-Drzazga, T. Grzebyk
    Książka:
    Advances in Sensors (rok: 2018, tom: 5, strony: 281-307), Wydawca: International Frequency Sensor Association Publishing IFSA
    Status:
    Opublikowana