Projekty finansowane przez NCN
Ultra-płytka plazmowa implantacja jonów na potrzeby technologii zaawansowanych struktur MOS/MOSFET wytwarzanych na krzemie i węgliku krzemu - charakterystyka zjawiska, próby optymalizacji technologicznej
2011/01/D/ST7/00640
Słowa kluczowe:
krzem węglik krzemu plazma w.cz. implantacja fluoru/azotu dielektryki typu "high-k" przyrządy MOS/MOSFET
Deskryptory:
- ST7_5: Mikro- i nanoelektronika, optoelektronika
Panel:
ST7 - Inżynieria systemów i komunikacji: elektronika, komunikacja, optoelektronika
Jednostka realizująca:
Politechnika Warszawska, Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych
woj. mazowieckie
Konkurs: SONATA 1 - ogłoszony 2011-03-15
Przyznana kwota: 822 400 PLN
Rozpoczęcie projektu: 2011-12-07
Zakończenie projektu: 2017-06-06
Planowany czas trwania projektu: 66 miesięcy (z wniosku)
Status projektu: Projekt rozliczony