Projects funded by the NCN

Information on the principal investigator and host institution

Information of the project and the call

Keywords

Equipment

Delete all

Generation of high vacuum in micro- and nanosystems

2013/09/B/ST7/01602

Keywords:

vacuum vacuum mikropump gas ionization getters absorption

Descriptors:

  • ST7_5: Micro- and nanelectronic, optoelectronic and photonic components

Panel:

ST7 - Systems and communication engineering: electronics, communication, optoelectronics

Host institution :

Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

woj. dolnośląskie

Other projects carried out by the institution 

Principal investigator (from the host institution):

dr hab. Anna Górecka-Drzazga 

Number of co-investigators in the project: 5

Call: OPUS 5 - announced on 2013-03-15

Amount awarded: 889 600 PLN

Project start date (Y-m-d): 2014-03-11

Project end date (Y-m-d): 2017-03-10

Project duration:: 36 months (the same as in the proposal)

Project status: Project settled

Equipment purchased [PL]

  1. Komputer typu laptop (3 szt.) (9 000 PLN)
  2. Mikrospektrometr (8 000 PLN)
  3. Stanowisko próżniowe (100 000 PLN)
  4. Czujnik pola magnetycznego (3 000 PLN)
  5. Mikroskop z podświetleniem EPi i kamerą (9 000 PLN)
  6. Przestrajalny zasilacz wysokonapięciowy (30 000 PLN)

Information in the final report

  • Publication in academic press/journals (13)
  • Articles in post-conference publications (15)
  • Book publications / chapters in book publications (1)
  1. Integration of a MEMS-type vacuum pump with a MEMS-type Pirani pressure gauge
    Authors:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Khodr Maamari, Seyoung An, Tatjana Dankovic, Alan Feinerman, Heinz Busta
    Academic press:
    Journal of Vacuum Science and Technology B (rok: 2015, tom: 33, strony: 03C103-1 - 03C103-6), Wydawca: AVS
    Status:
    Published
    DOI:
    10.1116/1.4903448 - link to the publication
  2. MEMS-Type Self-Packaged Field-Emission Electron Source
    Authors:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan A. Dziuban
    Academic press:
    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES (rok: 2015, tom: 62, strony: 2339-2345), Wydawca: IEEE
    Status:
    Published
    DOI:
    10.1109/TED.2015.2434598 - link to the publication
  3. Miniature integrated high vacuum MEMS
    Authors:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Tatjana Dankovic, Alan Feinerman, Heinz Busta
    Academic press:
    Procedia Engineering (rok: 2014, tom: 87, strony: 891-894), Wydawca: Elsevier
    Status:
    Published
    DOI:
    10.1016/j.proeng.2014.11.298 - link to the publication
  4. MEMS type ionization vacuum sensor
    Authors:
    T Grzebyk, A Górecka-Drzazga
    Academic press:
    Sensors and Actuators A (rok: 2016, tom: 246, strony: 148-155), Wydawca: Elsevier
    Status:
    Published
    DOI:
    10.1016/j.sna.2016.05.021 - link to the publication
  5. Miniature X-ray sources
    Authors:
    Anna Górecka-Drzazga
    Academic press:
    Journal of Microelectromechanical Systems (rok: 2017, tom: 26, strony: 295-302), Wydawca: IEEE
    Status:
    Published
    DOI:
    10.1109/JMEMS.2016.2640344 - link to the publication
  6. Vacuum and residual gas composition MEMS sensor
    Authors:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan A. Dziuban
    Academic press:
    Procedia Engineering (rok: 2015, tom: 120, strony: 671-674), Wydawca: Elsevier
    Status:
    Published
    DOI:
    10.1016/j.proeng.2015.08.707 - link to the publication
  7. Lateral MEMS-Type Field Emission Electron Source
    Authors:
    T Grzebyk, P Szyszka, A Górecka-Drzazga, J Dziuban
    Academic press:
    IEEE Transactions on Electron Devices (rok: 2016, tom: 63, strony: 809-813), Wydawca: IEEE
    Status:
    Published
    DOI:
    10.1109/TED.2015.2506778 - link to the publication
  8. MEMS ion-sorption high vacuum pump
    Authors:
    T Grzebyk, P Knapkiewicz, P Szyszka, A Górecka-Drzazga and J A Dziuban
    Academic press:
    Journal of Physics: Conference Series (rok: 2016, tom: 773, strony: 12047), Wydawca: IOP
    Status:
    Published
    DOI:
    10.1088/1742-6596/773/1/012047 - link to the publication
  9. MEMS tandem ion-sorption micropump
    Authors:
    Tomasz Grzebyk
    Academic press:
    Journal of Micromechanical and Microingineering (rok: 2017, tom: 27, strony: 125019 (6pp)), Wydawca: IOP Publishing
    Status:
    Published
    DOI:
    10.1088/1361-6439/aa9555 - link to the publication
  10. Miniaturowe źródłapromieniowania rentgenowskiego
    Authors:
    Anna Górecka-Drzazga
    Academic press:
    Przegląd Elektrotechniczny (rok: 2014, tom: 90, strony: 108-112), Wydawca: Sigma-NOT
    Status:
    Published
    DOI:
    10.12915/pe.2014.11.30 - link to the publication
  11. Low vacuum MEMS Ion-sorption Micropump
    Authors:
    T Grzebyk, A Górecka-Drzazga, J A Dziuban
    Academic press:
    Procedia Engineering (rok: 2016, tom: 168, strony: 1593-1596), Wydawca: Elsevier
    Status:
    Published
    DOI:
    10.1016/j.proeng.2016.11.468 - link to the publication
  12. MEMS ion source for mass spectrometer integrated on a chip
    Authors:
    P Szyszka, T Grzebyk, A Górecka-Drzazga, J A Dziuban
    Academic press:
    Journal of Physics: Conference Series (rok: 2016, tom: 773, strony: 12099), Wydawca: IOP
    Status:
    Published
    DOI:
    10.1088/1742-6596/773/1/012099 - link to the publication
  13. MEMS vacuum pumps
    Authors:
    T Grzebyk
    Academic press:
    Journal of Microelectromechanical Systems (rok: 2017, tom: 26, strony: 4), Wydawca: IEEE
    Status:
    Published
    DOI:
    101109/JMEMS.2017.2676820 - link to the publication
  1. Integrated transmition electron microscope on-the-chip
    Authors:
    Jan A Dziuban, Anna Górecka-Drzazga, Michał Krysztof, Tomasz Grzebyk
    Conference:
    14th International Conference on Electronics and Optical Sensors COE2016 (rok: 2016, ), Wydawca: Book of abstracts, Politechnika Gdańska
    Data:
    konferencja 19-22.06.2016
    Status:
    Published
  2. Lateral MEMS-type field-emission electron source
    Authors:
    Tomasz Grzebyk, Piotr Szyszka, Anna Gorecka-Drzazga, Jan A Dziuban
    Conference:
    28th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2015 (rok: 2015, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 13-17.07.2015
    Status:
    Published
    DOI:
    link to the publication
  3. Electron beam forming in MEMS-type electron gun
    Authors:
    M Krysztof, T Grzebyk, A Gorecka-Drzazga, J Dziuban
    Conference:
    28th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2015 (rok: 2015, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 13-17.07.2015
    Status:
    Published
    DOI:
    link to the publication
  4. From CPT to cooled-atom MEMS atomic microclock
    Authors:
    Jan Dziuban, Anna Górecka-Drzazga, Paweł Knapkiewicz, Tomasz Grzebyk
    Conference:
    14th International Conference on Electronic and Optical Sensors COE2016 (rok: 2016, ), Wydawca: Book of abstracts, Politechnika Gdańska
    Data:
    konferencja 19-22.06.2016
    Status:
    Published
  5. Improved ionization efficiency in MEMS-type ion-sorption micropump
    Authors:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan A Dziuban
    Conference:
    29th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2016 (rok: 2016, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 11-15.07.2016
    Status:
    Published
    DOI:
    link to the publication
  6. High vacuum MEMS instruments
    Authors:
    Anna Górecka-Drzazga
    Conference:
    14th International Conference on Electronic and Optical Sensors COE2016 (rok: 2016, ), Wydawca: Book of abstracts, Politechnika Gdańska
    Data:
    konferencja 19-22.06.2016
    Status:
    Published
  7. Development of the MEMS ion-sorption pump
    Authors:
    Tomasz Grzebyk
    Conference:
    14th International Conference on Electronic and Optical Sensors COE2016 (rok: 2016, ), Wydawca: Book of abstracts, Politechnika Gdańska
    Data:
    konferencja 19-22.06.2016
    Status:
    Published
  8. Integration of a MEMS-type vacuum pump with a MEMS-type Pirani pressure gauge
    Authors:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Khodr Maamari, Seyoung An, Tatjana Dankovic, Alan Feinerman, Heinz Busta
    Conference:
    27th International Vacuum Nanoelectronics Conference (rok: 2014, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 6-10.07.2014
    Status:
    Published
    DOI:
    link to the publication
  9. Miniature mass spectrometer integrated on a chip
    Authors:
    P. Szyszka, T. Grzebyk, M. Krysztof, A. Górecka-Drzazga, J. A. Dziuban
    Conference:
    International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2017 (rok: 2017, ), Wydawca: IEEE Catalog Number: CFP17VAC-PRT
    Data:
    konferencja 10-14 July 2017
    Status:
    Published
    DOI:
    link to the publication
  10. Miniaturowy jonizator gazów
    Authors:
    Piotr Szyszka, Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga
    Conference:
    XII Konferencja naukowa "Technologia Elektronowa" ELTE'2016 (rok: 2016, ), Wydawca: AGH Kraków
    Data:
    konferencja 11-14.09.2016
    Status:
    Published
  11. Vertical MEMS-type field-emission electron source
    Authors:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban
    Conference:
    27th International Vacuum Nanoelectronics Conference (rok: 2014, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 6-10.07.2014
    Status:
    Published
    DOI:
    link to the publication
  12. Influence of a magnetic field on trajectories of electrons in MEMS transmission electron microscope
    Authors:
    T. Grzebyk, P. Szyszka, M. Krysztof, A. Górecka-Drzazga, J. A. Dziuban
    Conference:
    International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2017 (rok: 2017, ), Wydawca: IEEE Catalog Number: CFP17VAC-PRT
    Data:
    konferencja 10-14 July 2017
    Status:
    Published
    DOI:
    link to the publication
  13. Integration of MEMS electron source with MEMS vacuum pump
    Authors:
    Piotr Szyszka, Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga
    Conference:
    14th International Conference on Electronic and Optical Sensors COE2016 (rok: 2016, ), Wydawca: Book of abstracts, Politechnika Gdańska
    Data:
    konferencja 19-22.06.2016
    Status:
    Published
  14. Jonowo-sorpcyjne pompy próżniowe typu MEMS
    Authors:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga
    Conference:
    XII Konferencja naukowa "Technologia Elektronowa" ELTE'2016 (rok: 2016, ), Wydawca: AGH Kraków
    Data:
    konferencja 11-14.09.2016
    Status:
    Published
  15. Wytwarzanie i skupianie wiązki elektronowej w mikrosystemie do zastosowania w transmisyjnym mikroskopie elektronowym typu MEMS
    Authors:
    Michał Krysztof, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Tomasz Grzebyk
    Conference:
    XII Konferencja naukowa "Technologia Elektronowa" ELTE'2016 (rok: 2016, ), Wydawca: AGH Kraków
    Data:
    konferencja 11-14.09.2016
    Status:
    Published
  1. Measurements of vacuum in microsystems
    Authors:
    A. Górecka-Drzazga, T. Grzebyk
    Book:
    Advances in Sensors: Reviews' Book Series (rok: 2018, tom: vol. 5, strony: Chapter 11, 27 stron), Wydawca: IFSA Publishing
    Status:
    Accepted for publication
    DOI:
    link to the publication

O Narodowym Centrum Nauki

Finansowanie nauki

Współpraca zagraniczna

Centrum prasowe

Deklaracja dostępności
Przetwarzanie danych osobowych
Polityka cookies

Partnerzy