Projekty finansowane przez NCN

Dane kierownika projektu i jednostki realizującej

Szczegółowe informacje o projekcie i konkursie

Słowa kluczowe

Aparatura

Wyczyść formularz

Wytwarzanie wysokiej próżni w mikro- i nanosystemach

2013/09/B/ST7/01602

Słowa kluczowe:

próżnia mikropompa próżniowa jonizacja gazu getery absorpcja

Deskryptory:

  • ST7_5: Mikro- i nanoelektronika, optoelektronika

Panel:

ST7 - Inżynieria systemów i komunikacji: elektronika, komunikacja, optoelektronika

Jednostka realizująca:

Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

woj. dolnośląskie

Inne projekty tej jednostki 

Kierownik projektu (z jednostki realizującej):

dr hab. Anna Górecka-Drzazga 

Liczba wykonawców projektu: 5

Konkurs: OPUS 5 - ogłoszony 2013-03-15

Przyznana kwota: 889 600 PLN

Rozpoczęcie projektu: 2014-03-01

Zakończenie projektu: 2017-03-10

Planowany czas trwania projektu: 36 miesięcy (z wniosku)

Status projektu: Projekt rozliczony

Zakupiona aparatura

  1. Komputer typu laptop (3 szt.). Za kwotę 9 000 PLN
  2. Mikrospektrometr. Za kwotę 8 000 PLN
  3. Stanowisko próżniowe. Za kwotę 100 000 PLN
  4. Czujnik pola magnetycznego. Za kwotę 3 000 PLN
  5. Mikroskop z podświetleniem EPi i kamerą. Za kwotę 9 000 PLN
  6. Przestrajalny zasilacz wysokonapięciowy. Za kwotę 30 000 PLN

Dane z raportu końcowego/rocznego

  • Publikacje w czasopismach (14)
  • Teksty w publikacjach pokonferencyjnych (22)
  • Publikacje książkowe (2)
  1. Vacuum and residual gas composition MEMS sensor
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan A. Dziuban
    Czasopismo:
    Procedia Engineering (rok: 2015, tom: 120, strony: 671-674), Wydawca: Elsevier
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1016/j.proeng.2015.08.707 - link do publikacji
  2. Miniature integrated high vacuum MEMS
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Tatjana Dankovic, Alan Feinerman, Heinz Busta
    Czasopismo:
    Procedia Engineering (rok: 2014, tom: 87, strony: 891-894), Wydawca: Elsevier
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1016/j.proeng.2014.11.298 - link do publikacji
  3. Lateral MEMS-Type Field Emission Electron Source
    Autorzy:
    T Grzebyk, P Szyszka, A Górecka-Drzazga, J Dziuban
    Czasopismo:
    IEEE Transactions on Electron Devices (rok: 2016, tom: 63, strony: 809-813), Wydawca: IEEE
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1109/TED.2015.2506778 - link do publikacji
  4. MEMS ion source for mass spectrometer integrated on a chip
    Autorzy:
    P Szyszka, T Grzebyk, A Górecka-Drzazga, J A Dziuban
    Czasopismo:
    Journal of Physics: Conference Series (rok: 2016, tom: 773, strony: 12099), Wydawca: IOP
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1088/1742-6596/773/1/012099 - link do publikacji
  5. MEMS vacuum pumps
    Autorzy:
    T Grzebyk
    Czasopismo:
    Journal of Microelectromechanical Systems (rok: 2017, tom: 26, strony: 4), Wydawca: IEEE
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    101109/JMEMS.2017.2676820 - link do publikacji
  6. Integration of a MEMS-type vacuum pump with a MEMS-type Pirani pressure gauge
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Khodr Maamari, Seyoung An, Tatjana Dankovic, Alan Feinerman, Heinz Busta
    Czasopismo:
    Journal of Vacuum Science and Technology B (rok: 2015, tom: 33, strony: 03C103-1 - 03C103-6), Wydawca: AVS
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1116/1.4903448 - link do publikacji
  7. MEMS type ionization vacuum sensor
    Autorzy:
    T Grzebyk, A Górecka-Drzazga
    Czasopismo:
    Sensors and Actuators A (rok: 2016, tom: 246, strony: 148-155), Wydawca: Elsevier
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1016/j.sna.2016.05.021 - link do publikacji
  8. MEMS tandem ion-sorption micropump
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk
    Czasopismo:
    Journal of Micromechanical and Microingineering (rok: 2017, tom: 27, strony: 125019 (6pp)), Wydawca: IOP Publishing
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1088/1361-6439/aa9555 - link do publikacji
  9. MEMS ion-sorption high vacuum pump
    Autorzy:
    T Grzebyk, P Knapkiewicz, P Szyszka, A Górecka-Drzazga and J A Dziuban
    Czasopismo:
    Journal of Physics: Conference Series (rok: 2016, tom: 773, strony: 12047), Wydawca: IOP
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1088/1742-6596/773/1/012047 - link do publikacji
  10. MEMS-Type Self-Packaged Field-Emission Electron Source
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan A. Dziuban
    Czasopismo:
    IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES (rok: 2015, tom: 62, strony: 2339-2345), Wydawca: IEEE
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1109/TED.2015.2434598 - link do publikacji
  11. Low vacuum MEMS Ion-sorption Micropump
    Autorzy:
    T Grzebyk, A Górecka-Drzazga, J A Dziuban
    Czasopismo:
    Procedia Engineering (rok: 2016, tom: 168, strony: 1593-1596), Wydawca: Elsevier
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1016/j.proeng.2016.11.468 - link do publikacji
  12. MEMS ion source for mass spectrometer integrated on a chip
    Autorzy:
    P Szyszka, T Grzebyk, A Górecka-Drzazga, J A Dziuban
    Czasopismo:
    Journal of Physics: Conference Series (rok: 2016, tom: 773, strony: 12099), Wydawca: IOP
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1088/1742-6596/773/1/012099 - link do publikacji
  13. Miniaturowe źródłapromieniowania rentgenowskiego
    Autorzy:
    Anna Górecka-Drzazga
    Czasopismo:
    Przegląd Elektrotechniczny (rok: 2014, tom: 90, strony: 108-112), Wydawca: Sigma-NOT
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.12915/pe.2014.11.30 - link do publikacji
  14. Miniature X-ray sources
    Autorzy:
    Anna Górecka-Drzazga
    Czasopismo:
    Journal of Microelectromechanical Systems (rok: 2017, tom: 26, strony: 295-302), Wydawca: IEEE
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1109/JMEMS.2016.2640344 - link do publikacji
  1. Integration of a MEMS-type vacuum pump with a MEMS-type Pirani pressure gauge
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Khodr Maamari, Seyoung An, Tatjana Dankovic, Alan Feinerman, Heinz Busta
    Konferencja:
    27th International Vacuum Nanoelectronics Conference (rok: 2014, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 6-10.07.2014
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    link do publikacji
  2. Lateral MEMS-type field-emission electron source
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Piotr Szyszka, Anna Gorecka-Drzazga, Jan A Dziuban
    Konferencja:
    28th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2015 (rok: 2015, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 13-17.07.2015
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    link do publikacji
  3. Integration of MEMS electron source with MEMS vacuum pump
    Autorzy:
    Piotr Szyszka, Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    14th International Conference on Electronic and Optical Sensors COE2016 (rok: 2016, ), Wydawca: Book of abstracts, Politechnika Gdańska
    Data:
    konferencja 19-22.06.2016
    Status:
    Opublikowana
  4. Miniature mass spectrometer integrated on a chip
    Autorzy:
    P. Szyszka, T. Grzebyk, M. Krysztof, A. Górecka-Drzazga, J. A. Dziuban
    Konferencja:
    International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2017 (rok: 2017, ), Wydawca: IEEE Catalog Number: CFP17VAC-PRT
    Data:
    konferencja 10-14 July 2017
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    link do publikacji
  5. Improved ionization efficiency in MEMS-type ion-sorption micropump
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan A Dziuban
    Konferencja:
    29th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2016 (rok: 2016, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 11-15.07.2016
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    link do publikacji
  6. Development of the MEMS ion-sorption pump
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk
    Konferencja:
    14th International Conference on Electronic and Optical Sensors COE2016 (rok: 2016, ), Wydawca: Book of abstracts, Politechnika Gdańska
    Data:
    konferencja 19-22.06.2016
    Status:
    Opublikowana
  7. Electron beam forming in MEMS-type electron gun
    Autorzy:
    M Krysztof, T Grzebyk, A Gorecka-Drzazga, J Dziuban
    Konferencja:
    28th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2015 (rok: 2015, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 13-17.07.2015
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    link do publikacji
  8. Lateral MEMS-type field-emission electron source
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Piotr Szyszka, Anna Gorecka-Drzazga, Jan A Dziuban
    Konferencja:
    28th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2015 (rok: 2015, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 13-17.07.2015
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    link do publikacji
  9. Wytwarzanie i skupianie wiązki elektronowej w mikrosystemie do zastosowania w transmisyjnym mikroskopie elektronowym typu MEMS
    Autorzy:
    Michał Krysztof, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Tomasz Grzebyk
    Konferencja:
    XII Konferencja naukowa "Technologia Elektronowa" ELTE'2016 (rok: 2016, ), Wydawca: AGH Kraków
    Data:
    konferencja 11-14.09.2016
    Status:
    Opublikowana
  10. Improved ionization efficiency in MEMS-type ion-sorption micropump
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan A Dziuban
    Konferencja:
    29th International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2016 (rok: 2016, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 11-15.07.2016
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    link do publikacji
  11. Vertical MEMS-type field-emission electron source
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban
    Konferencja:
    27th International Vacuum Nanoelectronics Conference (rok: 2014, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 6-10.07.2014
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    link do publikacji
  12. Integrated transmition electron microscope on-the-chip
    Autorzy:
    Jan A Dziuban, Anna Górecka-Drzazga, Michał Krysztof, Tomasz Grzebyk
    Konferencja:
    14th International Conference on Electronics and Optical Sensors COE2016 (rok: 2016, ), Wydawca: Book of abstracts, Politechnika Gdańska
    Data:
    konferencja 19-22.06.2016
    Status:
    Opublikowana
  13. Influence of a magnetic field on trajectories of electrons in MEMS transmission electron microscope
    Autorzy:
    T. Grzebyk, P. Szyszka, M. Krysztof, A. Górecka-Drzazga, J. A. Dziuban
    Konferencja:
    International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2017 (rok: 2017, ), Wydawca: IEEE Catalog Number: CFP17VAC-PRT
    Data:
    konferencja 10-14 July 2017
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    link do publikacji
  14. Integration of a MEMS-type vacuum pump with a MEMS-type Pirani pressure gauge
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Khodr Maamari, Seyoung An, Tatjana Dankovic, Alan Feinerman, Heinz Busta
    Konferencja:
    27th International Vacuum Nanoelectronics Conference (rok: 2014, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 6-10.07.2014
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    link do publikacji
  15. Wytwarzanie i skupianie wiązki elektronowej w mikrosystemie do zastosowania w transmisyjnym mikroskopie elektronowym typu MEMS
    Autorzy:
    Michał Krysztof, Anna Górecka-Drzazga, Jan Dziuban, Tomasz Grzebyk
    Konferencja:
    XII Konferencja naukowa "Technologia Elektronowa" ELTE'2016 (rok: 2016, ), Wydawca: AGH Kraków
    Data:
    konferencja 11-14.09.2016
    Status:
    Opublikowana
  16. Miniaturowy jonizator gazów
    Autorzy:
    Piotr Szyszka, Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    XII Konferencja naukowa "Technologia Elektronowa" ELTE'2016 (rok: 2016, ), Wydawca: AGH Kraków
    Data:
    konferencja 11-14.09.2016
    Status:
    Opublikowana
  17. From CPT to cooled-atom MEMS atomic microclock
    Autorzy:
    Jan Dziuban, Anna Górecka-Drzazga, Paweł Knapkiewicz, Tomasz Grzebyk
    Konferencja:
    14th International Conference on Electronic and Optical Sensors COE2016 (rok: 2016, ), Wydawca: Book of abstracts, Politechnika Gdańska
    Data:
    konferencja 19-22.06.2016
    Status:
    Opublikowana
  18. High vacuum MEMS instruments
    Autorzy:
    Anna Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    14th International Conference on Electronic and Optical Sensors COE2016 (rok: 2016, ), Wydawca: Book of abstracts, Politechnika Gdańska
    Data:
    konferencja 19-22.06.2016
    Status:
    Opublikowana
  19. Jonowo-sorpcyjne pompy próżniowe typu MEMS
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    XII Konferencja naukowa "Technologia Elektronowa" ELTE'2016 (rok: 2016, ), Wydawca: AGH Kraków
    Data:
    konferencja 11-14.09.2016
    Status:
    Opublikowana
  20. Miniaturowy jonizator gazów
    Autorzy:
    Piotr Szyszka, Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    XII Konferencja naukowa "Technologia Elektronowa" ELTE'2016 (rok: 2016, ), Wydawca: AGH Kraków
    Data:
    konferencja 11-14.09.2016
    Status:
    Opublikowana
  21. Jonowo-sorpcyjne pompy próżniowe typu MEMS
    Autorzy:
    Tomasz Grzebyk, Anna Górecka-Drzazga
    Konferencja:
    XII Konferencja naukowa "Technologia Elektronowa" ELTE'2016 (rok: 2016, ), Wydawca: AGH Kraków
    Data:
    konferencja 11-14.09.2016
    Status:
    Opublikowana
  22. Electron beam forming in MEMS-type electron gun
    Autorzy:
    M Krysztof, T Grzebyk, A Gorecka-Drzazga, J Dziuban
    Konferencja:
    28th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC), 2015 (rok: 2015, ), Wydawca: IEEE
    Data:
    konferencja 13-17.07.2015
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    link do publikacji
  1. Measurements of vacuum in microsystems
    Autorzy:
    A. Górecka-Drzazga, T. Grzebyk
    Książka:
    Status:
    Przyjęta do publikacji
  2. Measurements of vacuum in microsystems
    Autorzy:
    A. Górecka-Drzazga, T. Grzebyk
    Książka:
    Status:
    Przyjęta do publikacji

O Narodowym Centrum Nauki

Finansowanie nauki

Współpraca zagraniczna

Centrum prasowe

Deklaracja dostępności
Przetwarzanie danych osobowych
Polityka cookies

Partnerzy