Projekty finansowane przez NCN


Dane kierownika projektu i jednostki realizującej

Szczegółowe informacje o projekcie i konkursie

Słowa kluczowe

Aparatura

Wyczyść formularz

Ultra-płytka plazmowa implantacja jonów na potrzeby technologii zaawansowanych struktur MOS/MOSFET wytwarzanych na krzemie i węgliku krzemu - charakterystyka zjawiska, próby optymalizacji technologicznej

2011/01/D/ST7/00640

Słowa kluczowe:

krzem węglik krzemu plazma w.cz. implantacja fluoru/azotu dielektryki typu "high-k" przyrządy MOS/MOSFET

Deskryptory:

  • ST7_5: Mikro- i nanoelektronika, optoelektronika

Panel:

ST7 - Inżynieria systemów i komunikacji: elektronika, komunikacja, optoelektronika

Jednostka realizująca:

Politechnika Warszawska, Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych

woj. mazowieckie

Inne projekty tej jednostki 

Kierownik projektu (z jednostki realizującej):

dr Małgorzata Kalisz 

Liczba wykonawców projektu: 18

Konkurs: SONATA 1 - ogłoszony 2011-03-15

Przyznana kwota: 822 400 PLN

Rozpoczęcie projektu: 2011-12-07

Zakończenie projektu: 2017-06-06

Planowany czas trwania projektu: 60 miesięcy (z wniosku)

Status projektu: Projekt rozliczony

Zakupiona aparatura

  1. komputery osobiste. Za kwotę 10 000 PLN
  2. moduł do pomiarów impulsowych (Pulse Measuring Unit-4225). Za kwotę 74 000 PLN

Dane z raportu końcowego

  • Publikacje w czasopismach (4)
  • Teksty w publikacjach pokonferencyjnych (10)
  1. Effects of ultra-shallow ion implantation from RF plasma onto electrical properties of 4H-SiC MIS structures with SiOx/HfOx and SiOxNy/HfOx double-gate dielectric stacks IF: 1,806
    Autorzy:
    Robert Mroczyński, Norbert Kwietniewski, Piotr Konarski
    Czasopismo:
    Microelectronic Engineering (rok: 2017, tom: 178, strony: 116-121), Wydawca: Elsevier
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1016/j.mee.2017.05.017 - link do publikacji
  2. Wykorzystanie metody Taguchi'ego do optymlaizacji procesu ultra-płytkiej implantacji fluoru i azotu z plazmy w.cz. IF: 0,2
    Autorzy:
    Małgorzata Kalisz, Robert Mroczyński
    Czasopismo:
    Elektronika (rok: 2013, tom: 10, strony: 18-21), Wydawca: Sigma-Not
    Status:
    Opublikowana
  3. Electrical characterization of MIS structures with HfOx gate dielectric films fabricated on silicon substrates modified by ultra-shallow ion implantation from RF plasma IF: 0,83
    Autorzy:
    Robert Mroczyński, Małgorzata Kalisz, Magdalena Dominik
    Czasopismo:
    Physica Status Solidi (C) (rok: 2016, tom: 13, strony: 816-821), Wydawca: Wiley
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    0.1002/pssc.201600061 - link do publikacji
  4. Reactive magnetron sputtered hafnium oxide layers (HfOx) for non-volatile semiconductor memory (NVSM) devices IF: 1,358
    Autorzy:
    R. Mroczyński, M. Szymańska, W. Głuszewski
    Czasopismo:
    Journal of Vacuum Science and Technology B (rok: 2015, tom: 33 (1), strony: 01A113-1 - 01A113-5), Wydawca: AVS
    Status:
    Opublikowana
    Doi:
    10.1116/1.4906090 - link do publikacji
  1. Electro-physical properties of gate-last MOSFETs with low-temperature SiOxNy/HfOx stack after ultra-shallow fluorine implantation from RF plasma
    Autorzy:
    Robert Mroczyński, Jakub Jasiński
    Konferencja:
    48th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC) (rok: 2017, ), Wydawca: n/d
    Data:
    konferencja 6-9 XII
    Status:
    Przyjęta do publikacji
  2. Effect of ultra-shallow fluorine and nitrogen implantation from r.f. plasma on electrical prameters of MIS structures with HfOx gate dielectric layers
    Autorzy:
    Małgorzata Kalisz, Magdalena Szymańska, Robert Mroczyński
    Konferencja:
    Semiconductor Surface Passivation 2013 (rok: 2013, ), Wydawca: brak
    Data:
    konferencja IX
    Status:
    Opublikowana
  3. Effect of ultra-shallow fluorine and nitrogen implantation from r.f. plasma on electrical properties of MIS structures with HfOx gate dielectric layers
    Autorzy:
    Małgorzata Kalisz, Magdalena Szymańska, Robert Mroczyński
    Konferencja:
    18th Workshop on Dielectrics in Microelectronics - WoDiM 2014 (rok: 2014, ), Wydawca: -
    Data:
    konferencja 9-11 czerwca
    Status:
    Opublikowana
  4. Improvement of electro-physical properties of 4H-SiC MIS structures with SiOx/HfOx and SiOxNy/HfOx stacks by means of ultra-shallow ion implantation from RF plasma
    Autorzy:
    R. Mroczyński, N. Kwietniewski, P. Konarski
    Konferencja:
    Insulating films on semiconductors - INFOS 2017 (rok: 2017, ), Wydawca: IHP Microelectronics
    Data:
    konferencja 27-30 czerwca
    Status:
    Opublikowana
  5. Low-temperature technology of MIS structures with silicon nanocrystals (Si-NCs) embedded in hafnium oxide (HfOx) layers for NVSM applications
    Autorzy:
    Robert Mroczyński
    Konferencja:
    World Congress of Smart Materials 2017 (rok: 2017, ), Wydawca: BIT Group Global Ltd. China
    Data:
    konferencja 16-18 marca
    Status:
    Opublikowana
  6. Technology of MIS/ISFET with SiO2/AlN system as a gate insulator
    Autorzy:
    Piotr Firek, Michał Waśkiewicz, Bartłomiej Stonio, Jan Szmidt
    Konferencja:
    37th International Conference of IMAPS-CPMT (rok: 2013, ), Wydawca: brak
    Data:
    konferencja 22-25 IX
    Status:
    Opublikowana
  7. Ultra-shallow Ion Implantation from RF plasma and its effect on electro-physical properties of MOS structures with SiOx/HfOx double-gate dielctric layers fabricated on Si and 4H-SiC
    Autorzy:
    Robert Mroczyński, Małgorzata Kalisz, Jakub Jasiński, Norbert Kwietniewski, Magdalena Dominik, Romuald B. Beck, Jan Szmidt
    Konferencja:
    XII Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa (ELTE) (rok: 2016, ), Wydawca: Katedra Elektroniki, Wydział Informatyki Elektroniki i Telekomunikacji Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie
    Data:
    konferencja 11-14 IX
    Status:
    Opublikowana
  8. Thermal Stability od deposited by means of RF reactive magnetron sputtering hafnium oxide (HfOx) and hafnium oxynitride (HfOxNy) thin films
    Autorzy:
    Robert Mroczyński, Magdalena Dominik
    Konferencja:
    XII Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa (ELTE) (rok: 2016, ), Wydawca: Katedra Elektroniki, Wydział Informatyki Elektroniki i Telekomunikacji Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie
    Data:
    konferencja 11-14 IX
    Status:
    Opublikowana
  9. Reactive magnetron sputtered hafnium oxide layers (HfOx) for non-volatile semiconductor memory (NVSM) devices
    Autorzy:
    Robert Mroczyński, Magdalena Szymańska, Wojciech Głuszewski
    Konferencja:
    18th Workshop on Dielectrics in Microelectronics - WoDiM 2014 (rok: 2014, ), Wydawca: -
    Data:
    konferencja 9-11 czerwca
    Status:
    Opublikowana
  10. Ultra-shallow Ion Implantation from RF plasma – the phenomenon and effect on electro-physical properties of MOS structures fabricated on Si and SiC substrates
    Autorzy:
    Robert Mroczyński
    Konferencja:
    World Congress of Nano Science and Technology 2016 (rok: 2016, ), Wydawca: BIT Group Global Ltd.
    Data:
    konferencja 26-28 X
    Status:
    Opublikowana