Badanie zjawisk na granicy metal-półprzewodnik w przyrządowych strukturach półprzewodnikowych na bazie heterostruktur AlGaN/GaN
2012/07/D/ST7/02583
Słowa kluczowe
Deskryptory
- ST7_5: Mikro- i nanoelektronika, optoelektronika
Panel
ST7 – Inżynieria systemów i komunikacji: elektronika, komunikacja, optoelektronika
Jednostka realizująca
Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
woj. dolnośląskie
Kierownik projektu (z jednostki realizującej)
dr Wojciech Piotr Macherzyński
Liczba wykonawców projektu: 5
Konkurs
SONATA 4 – ogłoszony 2012-09-15
- Przyznana kwota
- 440 374 PLN
- Rozpoczęcie projektu
- 2013-07-17
- Zakończenie projektu
- 2016-11-16
- Planowany czas trwania projektu
- 40 miesięcy (z wniosku)
- Status projektu
- Projekt rozliczony
Zakupiona aparatura
- Pompa typu sorpcyjnego. Za kwotę 68 374 PLN
Dane z raportu końcowego/rocznego
Publikacje w czasopismach (12)
-
Stress control by micropits density variation in strained AlGaN/GaN/SiN/AlN/Si(111) heterostructures
- Autorzy:
- Szymański Tomasz, Wośko Mateusz M, Paszkiewicz Bogdan, Serafińczuk Jarosław, Drzik Milan*, Paszkiewicz Regina
- Czasopismo:
- Crystal Research and Technology (rok: 2016, tom: 51, strony: 225-230), Wydawca: John Wiley and Sons Inc.
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.1002/crat.201500276 – link do publikacji
-
Surface topography analysis with application of roughness area dependence method
- Autorzy:
- Szyszka Adam, Wośko Mateusz M, Szymański Tomasz, Paszkiewicz Regina
- Czasopismo:
- Ultramicroscopy (rok: 2016, tom: 170, strony: s. 77-85), Wydawca: Elsevier
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.1016/j.ultramic.2016.07.017 – link do publikacji
-
The Meyer–Neldel rule in conduction mechanism of the electrospun ZnO nanofibers
- Autorzy:
- Stafiniak Andrzej P, Tłaczała Marek
- Czasopismo:
- NANO: Brief Reports and Reviews (rok: 2016, tom: 11, strony: 1650025-1 - 1650025-5), Wydawca: World Scientific Publishing Co. Pte Ltd
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.1142/S1793292016500259 – link do publikacji
-
Black phosphorus saturable absorber for ultrashort pulse generation
- Autorzy:
- J. Sotor, G. Soboń, W. Macherzyński, P. Paletko, K. M. Abramski
- Czasopismo:
- Applied Physics Letters (rok: 2015, tom: 107, strony: 051108-1, 051108-1), Wydawca: American Institute of Physics Publishing
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.1063/1.4927673 – link do publikacji
-
CORRELATION OF SELECTED PROBLEMS DURING GaN MOVPE EPITAXY ON Si SUBSTRATES WITH IN–SITU INTERFEROMETER OBSERVATION
- Autorzy:
- Tomasz Szymański, Mateusz Wośko, Bogdan Paszkiewicz, Kornelia Indykiewicz, Regina Paszkiewicz
- Czasopismo:
- Journal of ELECTRICAL ENGINEERING (rok: 2014, tom: 65, strony: 294-298), Wydawca: Slovenska Technicka Univerzita
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.2478/jee-2014-0047 – link do publikacji
-
GaN/AlN superlattice high electronmobility transistor heterostructureson GaN/Si(111)
- Autorzy:
- Mateusz Wośko, Bogdan Paszkiewicz, Andrej Vincze, Tomasz Szymański, Regina Paszkiewicz
- Czasopismo:
- Phys. Status Solidi B (rok: 2015, tom: 252, strony: 1195– 1200), Wydawca: Wiley-VCH Verlag
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.1002/pssb.201451596 – link do publikacji
-
Optimization of AlGaN/GaN/Si(111) buffer growth conditions for nitride based HEMTs on silicon substrates
- Autorzy:
- Mateusz Wośko, Bogdan Paszkiewicz, Tomasz Szymański, Regina Paszkiewicz
- Czasopismo:
- Journal of Crystal Growth (rok: 2015, tom: 414, strony: 248-253), Wydawca: Elsevier
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.1016/j.jcrysgro.2014.10.048 – link do publikacji
-
Stress engineering in GaN structures grown on Si(111) substrates by SiN masking layer application
- Autorzy:
- Szymański Tomasz, Wośko Mateusz M, Paszkiewicz Bogdan, Paszkiewicz Regina, Drzik Milan
- Czasopismo:
- Journal of Vacuum Science & Technology A (rok: 2015, tom: 33, strony: 46029), Wydawca: AVS Science and Technology Society
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.1116/1.4921581 – link do publikacji
-
Electrical conduction of a single electrospun ZnO nanofiber
- Autorzy:
- Stafiniak Andrzej P, Boratyński Bogusław, Baranowska-Korczyc Anna*, Fronc Krzysztof*, Elbaum Danek*, Tłaczała Marek
- Czasopismo:
- Electrical conduction of a single electrospun ZnO nanofiber (rok: 2014, tom: 97, strony: 1157–1163), Wydawca: Wiley-Blackwell
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.1111/jace.12759 – link do publikacji
-
Improvement of the electron beam lithography contact pads fabrication process
- Autorzy:
- Indykiewicz Kornelia, Paszkiewicz Regina, Paszkiewicz Bogdan
- Czasopismo:
- Optica Applicata (rok: 2016, tom: 46, strony: 249-254), Wydawca: Technical University of Wroclaw
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.5277/oa160209 – link do publikacji
-
Growth and coalescence control of inclined caxis polar and semipolar GaN multilayer structures grown on Si(111), Si(112), and Si(115) by metalorganic vapor phase epitaxy
- Autorzy:
- Szymański Tomasz, Wośko Mateusz M, Paszkiewicz Bartłomiej, Paszkiewicz Bogdan, Paszkiewicz Regina, Sankowska Iwona
- Czasopismo:
- Journal of Vacuum Science & Technology A (rok: 2016, tom: 35, strony: 46030), Wydawca: AVS Science and Technology Society
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.1116/1.4958805 – link do publikacji
-
Microanalysis of the Ti/Al and Ti/Al/Mo/Au ohmic contacts metallization to AlGaN/GaN heterostructures
- Autorzy:
- Wojciech Macherzynski, Andrzej Stafiniak, Bogdan Paszkiewicz, Jacek Gryglewicz, and Regina Paszkiewicz
- Czasopismo:
- Physica Status Solidi A (rok: 2016, tom: 213, strony: 1145-1149), Wydawca: Wiley-VCH in Berlin
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- 10.1002/pssa.201532684 – link do publikacji
Teksty w publikacjach pokonferencyjnych (18)
-
Investigation of selected material issues of GaN epitaxial layers grown on Si substrates by MOVPE
- Autorzy:
- Szymański Tomasz, Wośko Mateusz M, Paszkiewicz Bogdan, Paszkiewicz Regina
- Konferencja:
- 2nd International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies (rok: 2014, strony: s. 140-143), Wydawca: University of Žilina
- Data:
- konferencja June 1-4, 2014
- Status:
- Opublikowana
-
Conductivity model of electrospun ZnO nanofibers
- Autorzy:
- Stafiniak Andrzej P, Gryglewicz Jacek I, Boratyński Bogusław, Tłaczała Marek
- Konferencja:
- International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies (rok: 2015, strony: s. 227-230), Wydawca: University of Žilina
- Data:
- konferencja June 1-4, 2015
- Status:
- Opublikowana
-
Improvement of AlGaN/GaN heterostructures electrical performance by altering GaN/sapphire buffers growth pressure.
- Autorzy:
- Wośko Mateusz M , Paszkiewicz Bogdan , Szymański Tomasz , Paszkiewicz Regina
- Konferencja:
- 16th European Workshop on Metalorganic Vapour Phase Epitaxy (rok: 2015, strony: s. 195-198,), Wydawca: The Nanometer Structure Consortium at Lund University
- Data:
- konferencja June 7-10, 2015
- Status:
- Opublikowana
-
THE INFLUENCE OF ALGAN LAYER ETCHING ON THE PARAMETERS OF TI/AL/MO/AU OHMIC CONTACTS TO ALGAN/GAN HETEROSTRUCTURES
- Autorzy:
- J. Gryglewicz, W. Macherzyński, B. Paszkiewicz, R. Paszkiewicz
- Konferencja:
- Advances in Electronic and Photonic Technologies (rok: 2015, strony: 256-259), Wydawca: University of Zilina
- Data:
- konferencja 1-4.06.2015
- Status:
- Opublikowana
-
Stress determination capabilities of the multilayers AIIIN-based structures grown on Si(11x) by MOVPE method
- Autorzy:
- Szymański Tomasz, Wośko Mateusz M, Paszkiewicz Bogdan, Paszkiewicz Regina
- Konferencja:
- 4th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies : proceedings of ADEPT (rok: 2016, strony: 23-26), Wydawca: University of Žilina
- Data:
- konferencja June 20-23, 2016
- Status:
- Opublikowana
-
EFFECT OF ANNEALING TEMPERATURE ON THE TI/AL/MO/AU OHMIC CONTACT
- Autorzy:
- W. Macherzyński, J. Gryglewicz, J. Prazmowska, A. Stafiniak, R. Paszkiewicz
- Konferencja:
- Advances in Electronic and Photonic Technologies (rok: 2015, strony: 206-209), Wydawca: University of Zilina
- Data:
- konferencja 1-4.06.2015
- Status:
- Opublikowana
-
Optimization of reactive ion etching process of AlGaN/GaN heteterostructures used for electronic devices
- Autorzy:
- J. Gryglewicz, W. Macherzyński, A. Stafiniak, M. Wośko, B. Paszkiewicz, R. Paszkiewicz, M.Tłaczała
- Konferencja:
- 10th Interregional Workshop between Saxonia, Silesia and Czech Advanced Nanomaterials - Synthesis, Properties, Characterization (rok: 2014, strony: 8), Wydawca: Wroclaw University of TEchnology
- Data:
- konferencja 13-14 November, 2014
- Status:
- Opublikowana
-
ANALYSIS OF METAL-SEMICONDUCTOR INTERFACE AT OHMIC CONTACTS TO ALGAN/GAN HETEROSTRUCTURE
- Autorzy:
- J. Prażmowska, W. Macherzyński, R. Paszkiewicz
- Konferencja:
- Advances in Electronic and Photonic Technologies (rok: 2015, strony: 296-299), Wydawca: University of Zilina
- Data:
- konferencja 1-4.06.2015
- Status:
- Opublikowana
-
Alternative metalization for the Ti/Al/Mo/Au ohmic contact to the AlGaN/GaN heterostructure
- Autorzy:
- Macherzyński Wojciech, Paszkiewicz Bogdan, Stafiniak Andrzej P, Szymański Tomasz, Paszkiewicz Regina
- Konferencja:
- 4th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies (rok: 2016, strony: 227-231), Wydawca: University of Žilina
- Data:
- konferencja June 20-23, 2016
- Status:
- Opublikowana
-
LP MOVPE selective epitaxial growth of InP:Fe on nanplanar substrates
- Autorzy:
- Kosior Łukasz, Badura Mikołaj, Zborowska-Lindert Iwona, Radziewicz Damian, Stafiniak Andrzej P, Ściana Beata, Tłaczała Marek
- Konferencja:
- 4th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies : proceedings of ADEPT (rok: 2016, strony: 87-90), Wydawca: University of Žilina
- Data:
- konferencja June 20-23, 2016
- Status:
- Opublikowana
-
Analysis of factors influencing the resolution of gate fabricated by photolitography technique
- Autorzy:
- J. Prażmowska, B. Paszkiewicz, R. Paszkiewicz
- Konferencja:
- 4th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies (rok: 2016, strony: 223-226), Wydawca: University of Žilina
- Data:
- konferencja June 20-23, 2016
- Status:
- Opublikowana
-
Application of Pd nano-islands for nanostructuring of AlGaN/GaN heterostructures
- Autorzy:
- Stafiniak Andrzej P, Owczarzak Sławomir, Macherzyński Wojciech
- Konferencja:
- 4th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies (rok: 2016, strony: 203-206), Wydawca: University of Žilina
- Data:
- konferencja June 20-23, 2016
- Status:
- Opublikowana
-
Different buffer approaches for AlGaN/GaN heterostructures epitaxy on Si(111) substrates
- Autorzy:
- M. Wosko, B. Paszkiewicz, T. Szymanski, R. Paszkiewicz
- Konferencja:
- The 10th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems (rok: 2014, strony: 81-84), Wydawca: Institute of Electronics and Photonics, Bratislava
- Data:
- konferencja 20-22 October 2014
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- link do publikacji
-
Investigation of oxygen plasma etching of diamond-like carbon films
- Autorzy:
- Kijaszek Wojciech, Prażmowska-Czajka Joanna, Oleszkiewicz Waldemar
- Konferencja:
- 4th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies (rok: 2016, strony: 95- 98), Wydawca: University of Žilina
- Data:
- konferencja June 20-23, 2016
- Status:
- Opublikowana
-
Influence of V/III ratio during MOVPE GaN buffer growth on the properties of AlGaN/GaN/SiN/AlN/Si(111) structures for HEMT purposes
- Autorzy:
- Szymański Tomasz, Wośko Mateusz M, Paszkiewicz Bogdan, Serafińczuk Jarosław, Drzik Milan, Paszkiewicz Regina
- Konferencja:
- 16th European Workshop on Metalorganic Vapour Phase Epitaxy (rok: 2015, strony: s. 207-210), Wydawca: The Nanometer Structure Consortium at Lund University
- Data:
- konferencja June 7-10, 2015
- Status:
- Opublikowana
-
Application of real time in-situ interferometry for the observation of GaN/Si MOVPE growth process
- Autorzy:
- T. Szymanski, M. Wośko, B. Paszkiewicz, K. Indykiewicz, R. Paszkiewicz
- Konferencja:
- The 10th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems (rok: 2014, strony: 77-80), Wydawca: Institute of Electronics and Photonics, Bratislava
- Data:
- konferencja 20-22 October 2014
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- link do publikacji
-
Precise etching of AlGaN/GaN HEMT structures with Cl2/BCl3/Ar plasma
- Autorzy:
- J. Gryglewicz, R. Paszkiewicz, W. Macherzyński, A. Stafiniak, M. Wośko
- Konferencja:
- The 10th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems (rok: 2014, strony: 73-76), Wydawca: Institute of Electronics and Photonics, Bratislava
- Data:
- konferencja 20-22 October 2014
- Status:
- Opublikowana
- DOI:
- link do publikacji
-
Mushroom - like profile fabrication in Lo/Hi resist system by electron beam lithography
- Autorzy:
- K. Indykiewicz, B. Paszkiewicz, R. Paszkiewicz
- Konferencja:
- 10th Interregional Workshop between Saxonia, Silesia and Czech Advanced Nanomaterials - Synthesis, Properties, Characterization (rok: 2014, strony: 12), Wydawca: Wroclaw University of TEchnology
- Data:
- konferencja 13-14 November, 2014
- Status:
- Opublikowana
Publikacje książkowe (4)
-
Materials - Microstructure of the Ti/Al ohmic contacts to the AlGaN/GaN heterostructure
- Autorzy:
- W. Macherzyński, B. Paszkiewicz, A. Stafiniak, M. Wośko
- Książka:
- Vacuum Technique & Technology (rok: 2014, tom: 1, strony: 93-99), Wydawca: Tele & Radio Research Institute, Warsaw
- Status:
- Opublikowana
-
Wpływ parametrów technologicznych na rozdzielczość struktur testowych Ti/Au wytwarzanych w procesie litografii elektronowej
- Autorzy:
- Indykiewicz Kornelia
- Książka:
- Badani i Rozwój Młodych Naukowców w Polsce - Nauki techniczne i inyżynieryjne (rok: 2015, tom: I, strony: 59-63), Wydawca: Młodzi Naukowcy
- Status:
- Opublikowana
-
Methods of Characterization - Characterization of diamond-like carbon films deposited by RF ICP PECVD method - investigation of technologica process parameters influence on properties of deposited DLC films
- Autorzy:
- W. Oleszkiewicz, W. Kijaszek, J. Kovac Jr, J. Kovac, A. Zakrzewski, S. Patela, M. Tlaczala
- Książka:
- Vacuum Technique & Technology (rok: 2014, tom: 1, strony: 123-136), Wydawca: Tele & Radio Research Institute
- Status:
- Opublikowana
-
Wykorzystanie profilometru optycznego w celu badania naprężeń występujących w heterostrukturach AlGaN/GaN osadzanych metodą MOVPE na podłożach krzemowych do zastosowań w tranzystorach typu HEMT
- Autorzy:
- Szymański Tomasz, Szyszka Adam, Wośko Mateusz M
- Książka:
- Badani i Rozwój Młodych Naukowców w Polsce - Polimery i kompozyty (rok: 2015, tom: I, strony: 92-97), Wydawca: Młodzi Naukowcy 2015
- Status:
- Opublikowana